فتولیتوگرافی چیست؟
فوتولیتوگرافی یکی از فرآیندهای مهم در تولید مدارهای مجتمع (آی سی یا تراشه) است. به سادگی می توان گفت، این فرآیند کپی کردن یک الگوی مدار روی یک بستر با استفاده از ماسک نوری و مقاومت نوری است.
زیرلایه بر روی لایه عایق دی اکسید سیلیکون و مقاوم به نور نقاشی می شود. مقاوم نور پس از قرار گرفتن در معرض نور UV به راحتی با یک توسعه دهنده حل می شود، پس از حل شدن و اچ کردن، الگوی مدار روی بستر باقی می ماند.
Photoresist چیست؟ چرا باید طول موج 500 نانومتر UV مسدود شود؟
Photoresist با رزین ها، حلال ها و مواد افزودنی ترکیب می شود. محدوده حساس به نور مقاوم در برابر نور 200 نانومتر-500 نانومتر است. بنابراین، بسیاری از آزمایشگاههای نیمهرسانا از نور زرد استفاده میکنند که طول موج 500 نانومتری UV را مسدود میکند تا از شرایط نوردهی بیش از حد یا در معرض نوردهی زودرس مقاوم به نور جلوگیری کند.
